国家知识产权局信息显示，上海硬石科技有限公司申请一项名为“一种基于辅助电源协同交流溅射电源的等离子体激发方法”的专利，公开号CN121852863A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本发明涉及一种基于辅助电源协同交流溅射电源的等离子体激发方法。其中，该方法包括：基于等离子体负载真空腔体接GND的安全设置，将第一交流电源输出端悬空，获取其输出的第一电压交流电压；通过电极激发工艺气体并采集该电源实时工作电流，判断等离子体初始激发状态，连接第二直流辅助电源输出负极与第一交流电源输出端，形成协同供电基础电路；导通第一交流电源输出端与GND，获取第二电压，利用第一交流电源输出端电压周期性，得到输出端相对GND的周期性变化电压，采集第二直流辅助电源实时工作电流并二次判断激发状态；获得稳定供电与反向电压保护，借助预设开关最大导通时间实现辅助起辉电路过载保护，实现了电路保护并提高了等离子体激发概率。

天眼查资料显示，上海硬石科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本78.95万人民币。通过天眼查大数据分析，上海硬石科技有限公司参与招投标项目11次，专利信息16条，此外企业还拥有行政许可2个。

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